兩種電容式壓力傳感器。為單只變極距型拉繩開關(guān)電容傳感器,用于測量流體或氣體的壓力。液體或氣體壓力作用于彈性膜片,使膜片片產(chǎn)生位移,位移導(dǎo)致電容量的變化,從而眞起由該電容組成的振蕩器的振蕩頻率變化,頻率信號經(jīng)計(jì)數(shù)、編碼、傳輸?shù)斤@示部分,即可指示壓力變化量。 一種小型差動(dòng)式電容壓力傳感器。它由金屬彈性膜片片與鍍金凹型下班圓片組成。當(dāng)被測壓力通過過濾器進(jìn)入空腔時(shí),由于彈性膜片兩側(cè)的壓力差,使彈性膜片凸向一側(cè),產(chǎn)生位移,該位移改變了兩個(gè)鍍金下班圓片與彈性膜片間的電容量,通過如脈沖涼寬度調(diào)制等電路的處理可以實(shí)現(xiàn)壓力測量方法。這種傳感器的靈敏度和分辨率都很高。其靈敏度取決于初始間隙越小,靈敏度越高。根據(jù)實(shí)驗(yàn),該傳感器可以測量方法一定數(shù)值的微箥壓差。其動(dòng)態(tài)響應(yīng)顯然主要取決于片的固有頻率。 |