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MIS二極管光電開關(guān)的伏安特性對氫氣很敏感，當(dāng)氫氣體積分數(shù)改變時，伏安特性會發(fā)生明顯的變化，因而可利用它來檢測氫氣。C-W儲備大學(xué)開發(fā)了帶有加熱器和測溫元件的MIS二極管型微結(jié)構(gòu)氫敏傳感器，為了提高靈敏度和耐久性，電極金屬用PD-AG合金。用集成電路工藝制造出加熱器、測溫元件和MIS二極管，最手用犧牲層工藝從背面將硅片選擇性地減薄。 這種測氫二極管在正偏或反偏狀態(tài)下都可測氫氣體積分數(shù)：用恒流源正偏置MIS二極管，其正偏壓降可定量顯示氫氣的體積分數(shù);用恒壓源反偏置MIS二極管，反向漏電流可定量顯示氫氣體積分數(shù)。 |
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