硅諧振梁式加速度光電開(kāi)關(guān)傳感器,塔形敏感質(zhì)量塊M懸掛在與其中心線平行且對(duì)稱的兩根水平支承懸臂梁上,懸臂梁另一端固定在框架上。在中心軸線,同樣有一根用于信號(hào)檢測(cè)的諧振懸臂梁。被測(cè)加速度使敏感質(zhì)量塊M轉(zhuǎn)換成載荷作用于懸臂梁上,導(dǎo)致懸臂梁產(chǎn)生拉伸或壓縮應(yīng)變,硅梁的諧振頻率發(fā)生變化,其變化量與被測(cè)加速度成正比。支承梁比諧振梁短而厚,其長(zhǎng)度比與厚度比由諧振頻率的靈敏度決定。若給定以下尺寸:硅框基底4*4*1.3mm3,敏感質(zhì)量塊1.55*2*0.3mm3,支承ivws0.35*0.2*0.022mm3,諧振梁0.7*0.2*0.0055mm3,則梁的長(zhǎng)度比為0.5,厚度比為4.以此尺寸構(gòu)成的整個(gè)懸掛系統(tǒng)固有頻率約為1.5khz。諧振梁尺寸由基本諧振頻率100khz不受加速度作用時(shí)和靈敏度決定,這個(gè)諧振頻率值100khz應(yīng)比整個(gè)懸掛的諧振頻率1.5khz高出幾十倍。 工作時(shí)交變電壓和直流偏壓加在制作在諧振梁表面的激勵(lì)電阻上,使諧振梁沿中心軸線方向產(chǎn)生交變熱應(yīng)力,若其固有頻率與諧振梁諧振頻率一致,硅梁將產(chǎn)生諧振,其上檢測(cè)電阻將感受到諧振軸向交變應(yīng)力,阻值也按諧振頻率變化,由檢測(cè)電橋輸出同頻變化的電壓信號(hào)。當(dāng)有沿垂直方向的加速度作用于敏感質(zhì)量塊m上時(shí),質(zhì)量塊m將沿z軸方向向下移動(dòng),使支承梁彎曲。因諧振梁與支承梁厚度不同,兩者的中性軸不在同一個(gè)平面上,導(dǎo)致諧振梁產(chǎn)生拉伸應(yīng)變,該應(yīng)變將附加在交變熱應(yīng)力上,改變無(wú)質(zhì)量塊m作用時(shí)自身諧振頻率,其改變量與質(zhì)量塊m被測(cè)加速度成函數(shù)關(guān)系。 |