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更新時間:2015.03.13 瀏覽次數(shù): |
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壓阻式光電開關(guān)傳感器由外殼、硅膜片和引線組成,其核心部分是一塊圓形的膜片,在膜片上利用集成電路的工藝擴(kuò)散四個阻值相等的電阻,構(gòu)成電橋。膜片的四周用一圓環(huán)固定,常用硅杯一體結(jié)構(gòu)來減小膜片與基座連接所帶來的性能變化。膜片的兩邊有兩個壓力腔,一個是和被測系統(tǒng)相連的高壓腔,另一個是低壓腔,通常和大氣相通。當(dāng)膜片兩邊存在壓力差時,膜片上各點存在應(yīng)力。四個電阻在應(yīng)力作用下阻值發(fā)生變化,電橋失去平衡,輸出相應(yīng)的電壓。該電壓和膜片兩邊的壓力差成正比,這樣測得不平衡電橋的輸出電壓就能求得膜片所受的壓力差。 |
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